三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的基本原理是：將被測(cè)零件放入它允許的測(cè)量空間范圍內(nèi)，精確地測(cè)出被測(cè)零件表面的點(diǎn)在空間三個(gè)坐標(biāo)位置的數(shù)值，將這些點(diǎn)的坐標(biāo)數(shù)值經(jīng)過計(jì)算機(jī)處理，擬合形成測(cè)量元素，如圓、球、圓柱、圓錐、曲面等，經(jīng)過數(shù)學(xué)計(jì)算的方法得出其形狀、位置公差及其他幾何量數(shù)據(jù)。

　　三坐標(biāo)測(cè)量儀可定義為一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測(cè)器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，此探測(cè)器以接觸或非接觸等方式傳送訊號(hào)，三個(gè)軸的位移測(cè)量系統(tǒng)經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)及各項(xiàng)功能測(cè)量的儀器。三坐標(biāo)測(cè)量儀的測(cè)量功能應(yīng)包括尺寸精度測(cè)量、定位精度測(cè)量、幾何精度測(cè)量及輪廓精度測(cè)量等。任何形狀都是由三維空間點(diǎn)組成的，所有的幾何量測(cè)量都可以歸結(jié)為三維空間點(diǎn)的測(cè)量，因此精確地進(jìn)行空間點(diǎn)坐標(biāo)的采集，是評(píng)定任何幾何形狀的基礎(chǔ)。